Tilli, Markku (Hrsg.)
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-0-12-817787-7 |
|---|---|
| Seitenzahl | 1026 S. |
| Kopierschutz | Digital Rights Management |
| Dateigröße | 83380 Kbytes |