Gerlicher, Hartmut (Autor)
Planarer Differenzdrucksensor in Silizium-Mikromechanik
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-3-7369-1625-8 |
|---|---|
| Seitenzahl | 180 S. |
| Kopierschutz | mit Wasserzeichen |
| Dateigröße | 3771 Kbytes |