Zilbauer, Thomas (Autor)
Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-3-7369-3270-8 |
|---|---|
| Seitenzahl | 166 S. |
| Kopierschutz | mit Wasserzeichen |
| Dateigröße | 1570 Kbytes |