Shim, Seongbo (Autor)
Shin, Youngsoo (Autor)
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-3-319-76294-4 |
|---|---|
| Seitenzahl | 144 S. |
| Kopierschutz | mit Wasserzeichen |
| Dateigröße | 12660 Kbytes |