H. Francombe, Maurice (Hrsg.)
Plasma Sources for Thin Film Deposition and Etching
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-0-08-092513-4 |
|---|---|
| Seitenzahl | 328 S. |
| Kopierschutz | Digital Rights Management |
| Dateigröße | 34435 Kbytes |