G. Einspruch, Norman (Hrsg.)
Plasma Processing for VLSI
VLSI Electronics Microstructure Science, Vol. 8
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-1-4832-1775-8 |
|---|---|
| Seitenzahl | 544 S. |
| Kopierschutz | Digital Rights Management |
| Dateigröße | 48122 Kbytes |