Powell, R.A. (Hrsg.)
Dry Etching for Microelectronics
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-0-08-098358-5 |
|---|---|
| Seitenzahl | 312 S. |
| Kopierschutz | Digital Rights Management |
| Dateigröße | 4915 Kbytes |