Tilli, Markku (Hrsg.)
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-0-323-31223-3 |
|---|---|
| Seitenzahl | 826 S. |
| Kopierschutz | Digital Rights Management |
| Dateigröße | 30585 Kbytes |