Hwang, Cheol Seong (Hrsg.)
Atomic Layer Deposition for Semiconductors
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-1-4614-8054-9 |
|---|---|
| Seitenzahl | 263 S. |
| Kopierschutz | mit Wasserzeichen |
| Dateigröße | 8770 Kbytes |