Wasa, Kiyotaka (Autor)
Handbook of Sputter Deposition Technology
Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-Materials and MEMS
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-1-4377-3484-3 |
|---|---|
| Seitenzahl | 660 S. |
| Kopierschutz | Digital Rights Management |
| Dateigröße | 20989 Kbytes |