Schulze, Knut (Autor)
Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von Airgap-Strukturen in Metallisierungssystemen in integrierten Schaltkreisen
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-3-640-29438-1 |
|---|---|
| Seitenzahl | 283 S. |
| Kopierschutz | ohne Kopierschutz |
| Dateigröße | 23704 Kbytes |