Wächtler, Thomas (Autor)
Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-3-638-05277-1 |
|---|---|
| Seitenzahl | 97 S. |
| Kopierschutz | ohne Kopierschutz |
| Dateigröße | 9117 Kbytes |