Handa, Rohan (Autor)
Gu, Linfei (Autor)
Electron Beam Lithography Process Optimization
An Experimental Design Study
Beschreibung
Produktdetails
| ISBN/GTIN | 978-3-656-08330-6 |
|---|---|
| Seitenzahl | 14 S. |
| Kopierschutz | ohne Kopierschutz |
| Dateigröße | 517 Kbytes |