Leondes, Cornelius T. (Hrsg.)

Mems/Nems

(1) Handbook Techniques and Applications Design Methods, (2) Fabrication Techniques, (3) Manufacturing Methods, (4) Sensors and Actuators, (5) Medical Applications and MOEMS

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Beschreibung

Produktdetails

ISBN/GTIN 978-0-387-25786-0
Seitenzahl 2096 S.
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