Semiconductors for Micro- and Nanotechnology

Halbleiter spielen eine wesentliche Rolle in der modernen Mikrotechnologie, besonders in der Mikroelektronik. Da die Dimensionen von neuen Mikroelektronikkomponenten, z.B. Computerchips, jetzt Nanometergröße erreicht haben, bewegt sich die Halbleiterforschung von der Mikrotechnologie hin zur Nanotechnologie.Das Verständnis der Halbleiterphysik, die mit dieser Technologie verbunden ist, ist für jeden Ingenieurstudenten bes. der Elektrotechnik, Mikrosystemtechnik und Physik, von großer Bedeutung. Das Buch betont besonders eine systemorientierte Sicht der Halbleiterphysik für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik. Die bereits vorhandenen Bücher decken nur die Physik elektronischer Bauteile ab und sind hauptsächlich für Physikstudenten geschrieben. Es ist das Ziel dieses Buches Halbleiterphysik praxisorientiert zu vermitteln und die Studenten der Ingenieurwissenschaften nicht mit unnötigen mathmatischen Formeln zu belasten.